[发明专利]一种聚醚型聚氨酯弹性体抛光材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种聚醚型聚氨酯弹性体抛光材料及其制备方法，包括如下步骤：材料：聚氨酯弹性体原料主要是聚酯和聚醚，扩链剂与交联剂是对聚氨酯弹性体起到相当重要作用的助剂，在聚氨酯弹性体的合成中，进行交联反应。与现有技术相比具备以下优点：拉伸强度高；高的模量；摩擦系数低，耐磨性优良，耐非极性溶剂优良，如油、燃料之类的，能够把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域，将抛光后便化学反应充分进行；的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果，维持抛光垫表面的抛光液薄膜，以便化学反应充分进行，保持抛光过程的平稳、表面不变形，以便获得较好的晶片表面形貌，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种聚醚型聚氨酯弹性体抛光材料及其制备方法，其特征在于：包括如下步骤：S1、材料：聚氨酯弹性体原料主要是聚酯和聚醚，扩链剂与交联剂是对聚氨酯弹性体起到相当重要作用的助剂，在聚氨酯弹性体的合成中，进行交联反应；聚氨酯弹性体制备中所需的扩链剂和交联剂都有一定的要求，特别要求含水量低于0.1%，聚氨酯弹性体助剂种类很多，主要是粘接剂、脱模剂和着色剂；S2、模具：模具是由钢材、铝、不锈钢经过车床或磨床加工制作的，为了延长模具的寿命，最好使用渗碳钢，用钢材、铝、不锈钢和渗碳钢加工模具，在两块平行的模板之间开设若干0.1mm的气眼，以利于气泡及时排出；S3、配置方法：首先将聚酯在130℃下减压脱水，将脱水的聚酯原料（60℃时）加入到盛有配合量TDI‑100反应容器内，在充分搅拌的情况下合成预聚体；合成反应是放热的，应注意控制反应温度在75℃‑82℃范围内，反应2h即可；然后将合成的预聚体置于75℃真空干燥箱内，并且抽真空脱气2h后备用；S4、然后将预聚体加热到100℃，并抽真空（真空度‑0.095mpa）脱气泡，称取交联剂MOCA,用电炉加热115℃熔化，模具涂上适宜的脱模剂预热（100℃），脱气后的预聚体和熔化后的MOCA混合，混合温度100℃，并搅拌均匀；S5、将搅拌均匀后的混合物再次抽真空脱气泡，将搅拌均匀脱完气泡的混合物，快速浇注到已经预热的模具中，得混合物不流动或不粘手（凝胶状）时，合上模具，置于硫化机中进行模压硫化（硫化条件：硫化温度120‑130℃，硫化时间，对于大而厚的弹性体，硫化时间在60min以上，对于小而薄的弹性体，硫化时间在20min），后硫化处理，将模压硫化后的制品放在90‑95℃（特殊情况下可在100℃）烘箱内继续硫化10h，然后在室温放置7‑10天完成熟化，最后制的成品。