[发明专利]一种电感式位移传感器及其位移测量方法

摘要

本发明公开了一种电感式位移传感器及其位移测量方法，其用于检测金属材料的位移。所述电感式位移传感器被设计成激励信号可调的精密高速电感测量部分和根据电感变化计算位移部分。所述电感式位移传感器包括一个微控制器，该微控制器包含数模转换器、模数转换器、PWM控制器。微控制器通过数模转换器输出激励信号，通过改变输出方式可调整激励信号的幅度和频率。激励信号加载在带电感探头的四臂电桥上。该电桥的两个输出信号分别被平均切割成四份，每份包含九十度相位差。平均切割用PWM信号控制模拟开关实现。对输出的八份信号做滑动平均并采样。根据八份信号的滑动平均值可计算电感探头的电感分量。根据该分量的变化可计算位移。

主权项

1.一种电感式位移传感器，其特征在于，包括微控制器、隔直放大电路、四臂电桥和模数混合电路；所述隔直放大电路分别与微控制器、四臂电桥电连接；所述模数混合电路分别与四臂电桥、微控制器电连接；微控制器输出采样序列，采样序列的输出间隔、输出幅度和输出相位差可调，采样序列经过隔直放大电路后得到激励信号，可调的激励信号加载在四臂电桥上，所述四臂电桥中有一臂接电感探头，所述四臂电桥有两个输出信号，两个输出信号通过模数混合电路后得到两组信号，每组信号包括多个采样信号，多个采样信号通过微控制器采样后测量两个输出信号的幅度与相位可以计算得到电感探头电感量，探头电感量经过输出区间设定方法和非线性校正方法得到探头与金属材料之间的位移。