[发明专利]一种带升降机构的自动对位装置及其曝光设备

摘要

本发明公开了一种带升降机构的自动对位装置及其曝光设备。一种自动对位装置包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头机构上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置。本发明有效的避免了因裁切、冲挂孔所产生的干膜屑对曝光的影响，再有静电棒消除静电、除尘机构除尘、空气净化等来保证基材的洁净度。采用高分辨率镜头组件进行实时监控对位情况，提高了对位的精度。全过程自动化操作，节省人工成本，提高了生产效率。

主权项

1.一种带升降机构的自动对位装置，其特征在于，包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；所述上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置；所述上菲林机构或下菲林机构均设有升降机构；所述升降机构包括用于支撑上菲林机构或下菲林机构且固定于安装架的若干个导向件，用于驱动上菲林机构或下菲林机构上下运动的竖直动力件；所述上菲林机构或下菲林机构与安装架之间设有缓冲件。