[发明专利]闸阀装置和基板处理系统有效
| 申请号： | 201810442611.X | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108878245B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 大森贵史;锅山裕树;三枝直也;伊藤毅 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种闸阀装置和基板处理系统，目的在于抑制基板的搬入搬出口的变形。闸阀装置与形成于在减压环境下对基板实施规定的处理的处理容器的侧壁的基板的搬入搬出口连接，包括：壁部，其形成有与搬入搬出口连通的开口部；和楔部件，其被插入位于开口上部的槽和位于搬入搬出口上部的槽，从搬入搬出口上部的槽的上表面支承搬入搬出口上部，其中，上述开口部是形成于壁部的开口部之上的部分，上述搬入搬出口上部是形成于处理容器的侧壁的搬入搬出口之上的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 闸阀 装置 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种闸阀装置，其与形成于处理容器的侧壁的基板的搬入搬出口连接，所述处理容器在减压环境下对所述基板实施规定的处理，所述闸阀装置的特征在于，包括：壁部，其形成有与所述搬入搬出口连通的开口部；和楔部件，其被插入位于开口上部的槽和位于搬入搬出口上部的槽，从所述搬入搬出口上部的所述槽的上表面支承所述搬入搬出口上部，其中，所述开口上部是形成于所述壁部的所述开口部之上的部分，所述搬入搬出口上部是形成于所述处理容器的侧壁的所述搬入搬出口之上的部分。
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