[发明专利]一种窗口扫描式曝光装置

摘要

本发明公开一种窗口扫描式曝光装置；该装置通过4只刀片共面安装，并在石英条和曝光窗口之间的缝隙处形成矩形窗口，进行高分辨率的投影式曝光控制，同时可以实现易损耗光学元件的便捷更换，以及光学元件和拦光部件在长时间激光环境下的温度控制。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

主权项

1.一种窗口扫描式曝光装置，包括扫描单元(1)、背板(2)、水平驱动单元(3)、防老化套筒(4)、石英条(5)、盖板(6)、垂向驱动单元(7)；2个水平驱动单元(3)和2个垂向驱动单元(7)安装在背板(2)上，扫描单元(1)安装在水平驱动单元(3)和垂向驱动单元(7)上；其特征在于：扫描单元(1)包括4只光阑片(8)，4只光阑片(8)共面安装，并在石英条(5)和曝光窗口(12)之间的缝隙处形成矩形窗口；背板(2)上石英条(5)的下方加工有宽槽(9)，宽槽(9)与防老化套筒(4)连通；盖板(6)上加工有曝光窗口(12)和V字槽(10)，V字槽(10)将曝光窗口(12)与盖板(6)的上边缘相连，梯形盖(11)安装在V字槽(10)上方并形成V字型的通气道；该装置在安装时，所述石英条(5)从背板(2)的下边缘处的宽槽(9)进入，并安装在防老化套筒(4)内，4只光阑片(8)安装在石英条(5)与盖板(6)之间的缝隙，4只光阑片(8)形成矩形窗口与石英条(5)、曝光窗口(12)在空间上线性分布；石英条(5)、曝光窗口(12)相对于背板(2)固定不动，2个水平驱动单元(3)和2个垂向驱动单元(7)分别控制4只光阑片(8)直线运动，形成不同位置和大小的矩形窗口；氮气通过V字槽(10)进入曝光窗口(12)并吹向4只光阑片(8)和石英条(5)。