[发明专利]一种带有非等深节流腔的气浮支承导向装置

摘要

本发明公开一种带有非等深节流腔的气浮支承导向装置；通过在气浮工作面上有规律的布置节流塞，形成非等深的阵列节流腔，在保证气浮导轨承载和稳定性的前提下，可提高气浮工作面上单位面积的转动刚度。本发明可建立一种体积小、悬臂长、转矩载荷大的浮支承导向装置。

主权项

1.一种带有非等深节流腔的气浮支承导向装置，包括气浮导轨(1)、U型气浮底板(2)、气封螺钉(3)、气浮盖板(4)、负载单元(5)以及导轨基座(6)；其特征在于：所述U型气浮底板(2)内侧加工有B、D、H三个气浮工作面，在B、D、H三个气浮工作面上安装有若干个非等深的节流塞(10)；在B、D、H的外侧分别加工有对应的非工作面A、C、G，在A、C两个非工作面上安装有若干个封气塞(8)；面A与B之间、C与D之间加工有若干条贯通的横向支气道(13)，封气塞(8)与节流塞(10)安装在横向支气道(13)的两侧出口；面E、F之间加工有若干条贯通的纵向支气道(12)，端塞(7)安装在纵向支气道(12)的两侧出口；垂直于面H加工有若干条垂向支气道(15)，节流塞(10)安装在垂向支气道(15)的单侧出口；垂直于面M和N各加工有一条垂向主气道(9)，在垂向主气道(9)出口处安装有密封圈(11)；垂直于面A加工有一条横向主气道(17)，在横向主气道(17)出口处安装有端塞(7)；垂直于面E加工有一条纵向主气道(16)，在纵向主气道(16)出口处安装有端塞(7)；垂直于面C加工有一条进气道(14)；所述进气道(14)连通并垂直于纵向主气道(16)，纵向主气道(16)连通并垂直于垂向主气道(9)，垂向主气道(9)连通并垂直于横向主气道(17)，垂向主气道(9)和横向主气道(17)连通并垂直于纵向支气道(12)，纵向支气道(12)连通并垂直于横向支气道(13)和垂向支气道(15)；既高压气体从进气道(14)进入，依次经过纵向主气道(16)、垂向主气道(9)、横向主气道(17)、纵向支气道(12)，最后通过安装在垂向主气道(9)和横向主气道(17)的节流塞(10)进入气浮工作面B、D、H；所述气封螺钉(3)将U型气浮底板(2)与气浮盖板(4)连接，负载单元(5)安装在气浮气浮盖板(4)上，导轨(1)安装在U型气浮底板(2)与气浮盖板(4)所形成力封闭式气浮支承及导向结构中；工作时，气浮导轨(1)通过导轨基座(6)固定，U型气浮底板(2)、气浮盖板(4)和负载单元(5)沿气浮导轨(1)方向运动。