[发明专利]一种金属薄膜/非晶合金截面透射样品制备方法在审

专利信息
申请号: 201810432366.4 申请日: 2018-05-08
公开(公告)号: CN108918211A 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 孙琳琳;孟培媛;王小博;李京泽;郝波涛 申请(专利权)人: 西京学院
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 何会侠
地址: 710123 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种金属薄膜/非晶合金截面透射样品制备方法,其步骤为,用金刚石切片机将金属薄膜的非晶合金样品切成样品条,用环氧树脂胶对接粘合,然后固化;在加热台上放置研磨台后与带孔的φ3mm铜环通过环氧树脂胶粘连后打磨,最后放在带有显微镜的精密离子减薄设备中进行离子减薄;本发明具有能够有效的防止薄膜减薄过渡或薄膜脱落,提高成功率的优点。
搜索关键词: 非晶合金 金属薄膜 环氧树脂胶 离子减薄 透射样品 制备 薄膜 金刚石切片 对接粘合 研磨台 粘连 带孔 减薄 铜环 显微镜 固化 加热 成功率 打磨 精密
【主权项】:
1.一种金属薄膜/非晶合金截面透射样品制备方法,其特征在于,其步骤为:步骤一:用金刚石切片机将金属薄膜的非晶合金样品切成宽度为1.5‑2mm的样品条,并依次使用酒精和丙酮清洗干净;步骤二:将步骤一中清洗干净的样品条之间采用环氧树脂胶对接粘合,然后放在加热台上固化,最后冷却至室温,得到粘贴样品;步骤三:在加热台上放置研磨台,将石蜡均匀涂抹于研磨台上后将步骤二得到的粘贴样品用砂纸研磨,当粘贴样品研磨到厚度为150‑180μm,在加热台上加热后,清洗粘贴样品表面的石蜡,得到粗品粘贴样品;步骤四:将步骤三中得到的粗品粘贴样品与带孔的φ3mm铜环通过环氧树脂胶粘连,继续在研磨台进行打磨,打磨到厚度为80μm后采用凹坑仪将上述粗品粘贴样品中心的厚度研磨至20‑30μm,得到细品粘贴样品;步骤五:将步骤四中的细品粘贴样品放在带有显微镜的精密离子减薄设备中进行离子减薄,当薄区厚度为70‑200nm为止,即获得金属薄膜/非晶合金截面透射样品。
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