[发明专利]一种固态多光谱传感器

摘要

本发明是一种固态多光谱传感器，涉及光学传感器领域，包括：硅芯片、光敏单元阵列、行驱动器、列驱动器、时序控制逻辑电路、数模转换器和数据总线输出接口等模块；所述光敏单元阵列选用固态纳米线阵列；固态纳米线阵列通过深反应离子刻蚀技术直接集成于所述硅芯片上；固态纳米线阵列由纳米线排列而成；纳米线定向垂直于硅芯片表面；入射光照射固态纳米线阵列并引发光电效应，特定几何参数特性的固态纳米线阵列过滤并增强提取入射光信息中特定波长的光信息。利用MEMS技术在硅晶片上精密刻制定制设计的纳米线阵列，建构出以硅晶片为基础、与主流半导体生产工艺相兼容的滤光结构，配合高性能商用CMOS图像传感器基础光检测及信号处理芯片。

主权项

1.一种固态多光谱传感器，其特征在于：包括硅芯片、光敏单元阵列、行驱动器、列驱动器、时序控制逻辑电路、数模转换器和数据总线输出接口；所述光敏单元阵列选用固态纳米线阵列；固态纳米线阵列通过深反应离子刻蚀技术直接集成于所述硅芯片上；固态纳米线阵列由纳米线排列而成；纳米线定向垂直于硅芯片表面；入射光照射固态纳米线阵列并引发光电效应，固态纳米线阵列过滤并增强提取入射光信息中的光信息。