[发明专利]大口径光学系统近场检测装置及其测量方法有效

专利信息
申请号: 201810429564.5 申请日: 2018-05-08
公开(公告)号: CN108871733B 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 寇松峰;叶宇;张志永;田源;顾伯忠 申请(专利权)人: 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00;G01J9/00
代理公司: 江苏致邦律师事务所 32230 代理人: 栗仲平
地址: 210042 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 大口径光学系统近场检测装置及其测量方法,由准直镜、微透镜阵列和探测器组成夏克哈特曼波前测量装置,其特征在于,在被测量目标的前方放置有点光源阵列作为测量信标,在被测目标的焦点前放置有分光镜和定标点光源,焦点后依次放置有准直镜、微透镜阵列和探测器;由点光源阵列、测量目标、分光镜和定标点光源组成系统自检光路;由点光源阵列、测量目标、分光镜、准直镜、微透镜阵列和探测器组成测量光路。本发明以三级像差在入瞳位置上的相关性为理论基础,以近场点光源阵列为测量信标,实现了大口径光学系统的近场检测,可以广泛用于大型光学系统的室内以及无信标等特殊条件下的检测。
搜索关键词: 口径 光学系统 近场 检测 装置 及其 测量方法
【主权项】:
1.一种大口径光学系统近场检测装置,由准直镜、微透镜阵列和探测器组成夏克哈特曼波前测量装置,其特征在于,在被测量目标的前方放置有点光源阵列作为测量信标,在被测目标的焦点前放置有分光镜和定标点光源,焦点后依次放置有准直镜、微透镜阵列和探测器;由点光源阵列、测量目标、分光镜和定标点光源组成系统自检光路;由点光源阵列、测量目标、分光镜、准直镜、微透镜阵列和探测器组成测量光路。
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