[发明专利]一种基于MIM波导耦合腔结构的多透射峰等离子体滤波器有效
| 申请号： | 201810429510.9 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108761650B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 杨宏艳;杨秀华;韦柳夏;苑立波 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293;G02B26/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MIM波导耦合腔结构的多透射峰等离子体滤波器，其主要包括金属膜以及开设在金属膜上的多个狭缝结构单元，这些狭缝结构单元由贯通在金属膜上下表面的多个横向矩形狭缝和多个纵向矩形狭缝组成。其中金属膜下端同一水平上的两个横向矩形狭缝结构单元为波导管的入射管和出射管；金属膜中波导管上方的三个横向矩形狭缝与四个纵向矩形狭缝结构单元构成统一整体的谐振腔。本发明的滤波器可以实现多通道滤波，每个透射峰的透射率均高达75％以上，最高透射率可达93％，其最小半峰全宽约为10nm，品质因数可以高达122.81。该多透射峰滤波器在应用中具有适用范围广、利用率高及易于集成等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 狭缝结构 透射峰 横向矩形 狭缝 等离子体滤波器 波导耦合 改变结构 相关参数 纵向矩形 腔结构 透射率 滤波器 应用 滤波器结构 滤波器器件 高透射率 红外波段 滤波效果 品质因数 全光网络 上下表面 输出特性 同一水平 透射光谱 有效调整 中波导管 半高宽 波导管 可调谐 谐振腔 出射 入射 下端 选频 贯通 灵活 统一 研究 | ||
【主权项】：
1.一种基于MIM波导耦合腔结构的多透射峰等离子体滤波器，其特征是：滤波器主要由金属膜(1)和多个狭缝结构单元组成，这些狭缝结构单元均开设在金属膜上，且多个纳米狭缝结构单元内部填充介质均为空气，这些狭缝结构单元由贯通在金属膜上下表面的多个横向矩形狭缝和多个纵向矩形狭缝组成，其中金属膜下端同在水平上的两个横向矩形狭缝结构单元为波导管的入射管(2)和出射管(3)；波导管上方的三个横向矩形狭缝与四个纵向矩形狭缝结构单元构成一个整体的谐振腔，腔体上部位的横向矩形狭缝(10)的左端与左部位纵向长矩形狭缝(9)的上端以垂直方式相连通；腔体上部位横向矩形狭缝的右端与右部位纵向长矩形狭缝(8)的上端以垂直方式相连通；腔体左部位纵向短矩形狭缝(4)的右端与左部位纵向长矩形狭缝的中端以垂直方式相连通；腔体右部位纵向短矩形狭缝(5)的左端与右部位纵向长矩形狭缝的中端以垂直方式相连通；腔体下部位左边横向矩形狭缝(6)的左端与左部位纵向长矩形狭缝的下端以垂直方式相连通；腔体下部位右边横向矩形狭缝(7)的右端与右部位纵向长矩形狭缝的下端以垂直方式相连通。/n
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