[发明专利]一种PLC排版方法在审

专利信息
申请号: 201810427979.9 申请日: 2018-05-07
公开(公告)号: CN110449754A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 叶建国;陈文铨 申请(专利权)人: 无锡天创光电科技有限公司
主分类号: B23K26/70 分类号: B23K26/70;B23K26/38
代理公司: 32262 无锡市朗高知识产权代理有限公司 代理人: 赵华<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 214000江苏省无锡市新吴区菱*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种PLC排版方法,包括以下工艺步骤:设计激光模板:在不改变芯片的现有设计形状和外形尺寸的基础上,去掉芯片和芯片之间的切割缝;在步骤1的基础上,利用原有切割缝的间隙芯片横向排列方向增加芯片条数,使芯片条之间无缝连接在一起;在步骤2的基础上,复制步骤2的图形,逐渐覆盖6寸晶圆全部的面积,达到6寸晶圆的图形形状;制作激光模板:根据上述步骤制作出的图纸生产激光模板;按照晶圆生产工艺,投料生产样片;按照芯片切割方式,得到芯片样片;按照PLC分路器的现有生产工艺,生产裸器件。本发明采用激光切割法,不需要留切割缝,去掉芯片和芯片之间的切割缝,利用原有切割缝的间隙增加芯片的排版。
搜索关键词: 芯片 切割缝 激光模板 晶圆 芯片条 排版 生产工艺 激光切割法 工艺步骤 排列方向 投料生产 图形形状 图纸生产 无缝连接 芯片横向 芯片切割 复制 覆盖 制作 生产
【主权项】:
1.一种PLC排版方法,其特征在于,其包括以下工艺步骤:/n(1)设计激光模板:在不改变芯片的现有设计形状和外形尺寸的基础上,去掉芯片和芯片之间的切割缝;/n(2)在步骤1的基础上,利用原有切割缝的间隙芯片横向排列方向增加芯片条数,使芯片条之间无缝连接在一起;/n(3)在步骤2的基础上,复制步骤2的图形,逐渐覆盖6寸晶圆全部的面积,达到6寸晶圆的图形形状;/n(4)制作激光模板:根据上述步骤制作出的图纸生产激光模板;/n(5)按照晶圆生产工艺,投料生产样片;/n(6)按照芯片切割方式,用激光切割晶圆条,并研磨浸泡,得到芯片样片;/n(7)按照PLC分路器的现有生产工艺,生产裸器件。/n
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