[发明专利]柔性基底薄膜剪切载荷的力学性能原位测试辅助装置

摘要

本发明涉及材料测试技术，尤其涉及一种柔性基底薄膜剪切载荷的力学性能原位测试辅助装置，包括有框架结构的机架、安装在机架上的加载机构和精密测量单元。本发明通过两套相反运动的丝杆传动组件，给薄膜试件加载剪切力，原子力显微镜直接观测剪切力下薄膜的微观结构变化，从而得到样品的宏观力学性能。本发明可复现薄膜材料受剪切载荷的工况，原位测量整个过程中的形变学、变形机制和力学性能，是研究新型薄膜材料在此工况下的弹性模量、内应力和膜基结合能、失效参数的有力试验工具。

主权项

1.一种柔性基底薄膜剪切载荷的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于，包括有框架结构的机架、安装在机架上的加载机构和精密测量单元；加载机构包括反方向设置的两套丝杆传动组件，每套丝杆传动组件均包括精密伺服直流电机、丝杆、滑块、压片、联轴器、轴承，精密伺服直流电机安装在机架上，精密伺服直流电机驱动丝杆转动，丝杆通过轴承装配在机架上，丝杆与滑块配合传动；滑块上连接有压片，压片将薄膜试件侧边压紧在滑块上；精密伺服直流电机驱动两滑块朝反方向移动给试件加载剪切载荷；精密检测单元包括有光电编码器、位移传感器、采集卡及PC机，光电编码器与精密直流伺服电机同轴相连，位移传感器安装在框架侧壁和滑块底部采集滑块位移量；光电编码器、位移传感器经过采集卡采集数据传输给PC机处理，PC机与显微镜主机通讯。