[发明专利]一种基于氧化镓偏振选择特性的带通日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

基于氧化镓偏振选择特性的带通日盲紫外探测器，包括β相的氧化镓衬底、金属(Au)叉指状电极、绝缘介质钝化层和另一同晶体取向的β相氧化镓单晶滤光片，在(100)、(001)或(010)β相的单晶衬底上沉积金属得到叉指状电极阵列，然后覆盖绝缘介质钝化层，所述绝缘介质钝化层漏出金属(Au)叉指状电极；氧化镓单晶滤光片是位于Au叉指状电极器件的上方2‑5mm处放置，氧化镓单晶滤光片的晶体取向与衬底相同，面积稍大于衬底，氧化镓单晶滤光片面内晶体取向垂直于氧化镓衬底。上述器件具有封装结构，可以实现阵列化信号输出。本探测器能实现有效的滤除杂波，增强对短波的抑制作用，实现窄带的日盲紫外探测器；探测器结构简单，成本较低，抑制较高，有利于推广使用。

主权项

1.一种基于氧化镓偏振选择特性的带通日盲紫外探测器，其特征是，包括β相的氧化镓衬底、金属叉指状电极、绝缘介质钝化层和另一同晶体取向的β相氧化镓单晶滤光片，在(100) 、(001)或(010) β相的单晶衬底上沉积金属得到叉指状电极阵列，然后覆盖绝缘介质钝化层，所述绝缘介质钝化层漏出金属叉指状电极；氧化镓单晶滤光片是位于Au叉指状电极器件的上方2‑5 mm处放置，氧化镓单晶滤光片的晶体取向与衬底相同，面积大于衬底，氧化镓单晶滤光片面内晶体取向垂直于氧化镓衬底；钝化层为PECVD生长的SiO₂或ALD生长的氧化铝薄膜，SiO₂的厚度范围为200‑300 nm，氧化铝薄膜的厚度为20‑40 nm；所述的β相的氧化镓衬底厚度为100‑500μm，金属叉指状电极是Au电极，位于β相的氧化镓衬底上；叉指状电极的方向沿着(010)或(001)方向。