[发明专利]用于将部件安装在基板上的设备和方法

摘要

本发明涉及用于将部件安装在基板上的设备和方法。设备包括：结合头，具有部件夹持器；第一驱动系统，用于使托架移动经过相对长的距离；第二驱动系统，被附接到托架，用于使结合头在名义工作位置和待机位置之间来回移动；驱动件或旋转驱动件，驱动件被附接到结合头用于使部件夹持器旋转，旋转驱动件用于使基板绕轴线旋转；至少一个基板相机，被附接到托架；和至少一个部件相机。第二驱动系统也被设计成用结合头执行高精度校正移动，或者第三驱动系统被设置成用基板执行高精度校正移动。至少一个基准标记被附接到结合头或部件夹持器。

主权项

1.用于将部件安装在基板(2)上的设备，包括结合头(3)，所述结合头(3)具有部件夹持器(11)；至少一个基准标记(13)，所述至少一个基准标记(13)被布置在所述结合头(3)处或被布置在所述部件夹持器(11)处；进给单元(4)，所述进给单元(4)用于供应部件；装置(5)，所述装置(5)用于提供基板(2)；第一驱动系统(6)，所述第一驱动系统(6)用于使托架(7)移动；第二驱动系统(8)，所述第二驱动系统(8)被附接到所述托架(7)，用于使所述结合头(3)在一个或若干个不同方向上移动；驱动件(14)或旋转驱动件(15)，所述驱动件(14)被附接到所述结合头(3)，用于使所述部件夹持器(11)绕轴线(12)旋转，所述旋转驱动件(15)用于使所述基板(2)绕轴线旋转；至少一个基板相机(10)；和至少一个部件相机(9)或至少一个光学偏转系统，所述至少一个光学偏转系统与所述至少一个基板相机(10)一起形成至少一个部件相机，其中所述至少一个基板相机(10)被附接到所述托架(7)，所述托架(7)和/或所述结合头(3)和/或所述部件夹持器(11)是可提升且可下降的，所述托架(7)能够借助于所述第一驱动系统(6)移动到所述进给单元(4)，所述托架(7)能够借助于所述第一驱动系统(6)移动到所述至少一个部件相机(9)，或者所述至少一个部件相机(9)被固定到所述托架(7)且能够相对于所述结合头(3)回转，使得所述至少一个基准标记(13)和由所述部件夹持器(11)夹持的所述部件在所述至少一个部件相机(9)的视场中，使得所述部件的实际位置相对于所述至少一个基准标记(13)是可检测的，所述托架(7)能够借助于所述第一驱动系统(6)在所述基板(2)的基板场所的上方移动，并且所述结合头(3)能够借助于所述第二驱动系统(8)移动到待机位置中，在所述待机位置中，所述至少一个基板相机(10)的每一个视场包含被布置在所述基板(2)上的至少一个基板标记(23)，并且所述结合头(3)能够借助于所述第二驱动系统(8)移动到名义工作位置中，在所述名义工作位置中，所述至少一个基板相机(10)的每一个视场包含所述至少一个基准标记(13)中的一个基准标记(13)，并且其中所述托架(7)和/或所述结合头(3)和/或所述部件夹持器(11)能够下降到如下程度：所述至少一个基准标记(13)和所述至少一个基板标记(23)都在所述至少一个基板相机(10)的场深中。