[发明专利]一种测量膜层锥度角的设备及方法在审
| 申请号： | 201810388444.5 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108663007A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 赖学谦 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22;G01Q30/02;G01Q30/04 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量膜层锥度角的设备及方法，所述设备包括膜层厚度测量装置、线宽测量装置和计算装置，其中膜层厚度测量装置包括探针、与探针联动的差动变压器、提供水平方向磁场的磁铁、信号放大器以及运算单元，差动变压器与信号放大器连接，信号放大器与运算单元连接，运算单元用于从信号放大器接收感应电流信号，并计算出膜层厚度；线宽测量装置包括扫描电子显微镜和测量单元，扫描电子显微镜用于扫描膜层得到膜层图像，测量单元用于根据膜层图像量测得到线宽；计算装置用于根据膜层厚度和线宽计算出锥度角。本发明利用一台设备通过计算膜层厚度和量测出线宽，通过膜层厚度和线宽直接计算出锥度角，保护了工艺流程完整性和进度。 | ||
| 搜索关键词： | 膜层 信号放大器 锥度角 线宽 扫描电子显微镜 厚度测量装置 线宽测量装置 差动变压器 测量单元 测量膜层 计算装置 运算单元 探针 感应电流信号 水平方向磁场 单元连接 线宽计算 直接计算 工艺流程 层厚度 图像量 与运算 磁铁 出膜 联动 扫描 图像 进度 | ||
【主权项】：
1.一种测量膜层锥度角的设备，其特征在于，所述设备包括膜层厚度测量装置、线宽测量装置和计算装置，其中：所述膜层厚度测量装置，用于采用断差量测方式对待测膜层的厚度进行测量，获得膜层厚度值；所述线宽测量装置，用于对所述待测膜层图形采用扫描电子显微镜方式进行扫描，并获得其线宽值；所述计算装置分别与所述膜层厚度测量装置和所述线宽测量装置连接，用于根据膜层厚度测量装置得到的膜层厚度值和线宽测量装置得到的线宽值进行计算，获得所述待测膜层外侧的锥度角。
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