[发明专利]一种用于射频前端制冷杜瓦的多层聚酰亚胺薄膜真空窗结构有效
| 申请号： | 201810377483.5 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108448209B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 金乘进;曹洋;石向玮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家天文台 |
| 主分类号： | H01P1/08 | 分类号： | H01P1/08 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100012 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于射频前端制冷杜瓦的多层聚酰亚胺薄膜真空窗结构，所述多层聚酰亚胺薄膜真空窗结构包括若干层聚酰亚胺薄膜，相邻的所述聚酰亚胺薄膜之间设置有法兰，所述法兰以及真空窗的窗口与聚酰亚胺薄膜的接触面均设置有O型密封圈容置槽，所述O型密封圈容置槽内设置有O型密封圈。本申请与传统的单层聚酰亚胺薄膜以及薄膜与泡沫组合的技术方案相比，在多层聚酰亚胺薄膜真空窗的技术方案中，相邻腔体内部的压强差小于一个大气压，使得腔体之间的薄膜变形量减小，从而使得使用薄膜的可靠性和寿命得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 射频 前端 制冷 多层 聚酰亚胺 薄膜 真空 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于射频前端制冷杜瓦的多层聚酰亚胺薄膜真空窗结构，其特征在于，所述多层聚酰亚胺薄膜真空窗结构包括若干层聚酰亚胺薄膜，相邻的所述聚酰亚胺薄膜之间设置有法兰，所述法兰以及真空窗的窗口与聚酰亚胺薄膜的接触面均设置有O型密封圈容置槽，所述O型密封圈容置槽内设置有O型密封圈。
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