[发明专利]一种衍射元件、高分辨率光谱仪及光谱检测方法有效
| 申请号： | 201810373028.8 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108827471B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡志坚;吴利;苏衍峰;吴建宏 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01J3/36 | 分类号： | G01J3/36;G01J3/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 杨慧林 |
| 地址： | 215104 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光谱检测设备领域，公开了一种衍射元件、高分辨率光谱仪及光谱检测方法。待测光源通过准直透镜平行入射到所述光谱仪的衍射元件上，所述衍射元件由多个衍射光栅单元构成，所述衍射光栅单元的刻痕密度分布和/或刻痕倾斜方向不同，待测光经过所述衍射元件后发生无规则散射，通过图像传感器记录待测光在零级衍射处和一级衍射处的散斑图案，再由光谱分析系统将所述散斑图案与波长‑散斑图案标准库进行比对，反推出待测光的光谱数据。本发明的光谱仪结构简单、具有高分辨率，并且人为可控、可进行批量生产，同时使用该光谱仪进行光谱检测误差小、操作简单，具有广泛的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 元件 高分辨率 光谱仪 光谱 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衍射元件，包括基板以及刻于所述基板上的多个衍射光栅单元，其特征在于：通过改变所述衍射光栅单元的刻痕密度分布和/或所述刻痕的倾斜方向，使得不同波长的单色光从所述衍射元件出射后形成的散斑图案不同。
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