[发明专利]一种亚单层量子点级联光电探测器在审
申请号: | 201810358720.3 | 申请日: | 2018-04-20 |
公开(公告)号: | CN108493275A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 巫江;杜文;余鹏;王志明 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/102 |
代理公司: | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人: | 李华;温黎娟 |
地址: | 610041 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开一种亚单层量子点级联光电探测器,其特征在于,包括衬底层,在衬底层的上表面由下至上依次外延生长出下接触层、活性区域层和上接触层,所述的活性区域层为周期性层状结构,每个周期内包括由下至上设置的量子阱级联传输区和亚单层量子点堆积层。本发明所述的亚单层量子点级联光电探测器可以获得质量更高、更可控的量子点,提高量子效率、降低暗电流,从而有效的提高光电探测器的探测能力和响应率。 | ||
搜索关键词: | 亚单层量子点 光电探测器 级联 活性区域 衬底层 周期性层状结构 量子效率 上接触层 外延生长 暗电流 传输区 堆积层 接触层 可控的 量子点 量子阱 上表面 响应率 探测 | ||
【主权项】:
1.一种亚单层量子点级联光电探测器,其特征在于,包括衬底层(1),在衬底层(1)的上表面由下至上依次外延生长出下接触层(2)、活性区域层(3)和上接触层(4),所述的活性区域层(3)为周期性层状结构,每个周期内包括由下至上设置的量子阱级联传输区(31)和亚单层量子点堆积层(32)。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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