[发明专利]一种束流能量分析仪在审
| 申请号： | 201810357691.9 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108627866A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 张权;刘开锋;胡桐宁;涂修德;樊宽军 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G01T1/36 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种束流能量分析仪，包括：刮束器、聚焦电极、减速栅网、收集极以及快速束流变压器FCT。刮束器用于电子束刮束，使得少部分电子束通过刮束器，进入能量分析仪内部；减速栅网用于提供减速电场，以对进入能量分析仪内的电子进行减速，能量大于减速电压的电子能够穿过减速栅网而被收集极收集；快速束流变压器FCT用于实时测量收集极收集到的电子流强。分析收集极收集到的电子流强与减速栅网电压的关系能够得到进入能量分析仪的电子的能谱，完整扫描束流横截面，可以得到束流的能谱。聚焦电极用于调节减速电场，提高能量分析仪测量精度。本发明大幅提高了低能强流电子束的能谱测量分辨率，最高相对分辨率可达0.2％。 | ||
| 搜索关键词： | 减速栅 收集极 电子束 能量分析仪 束流变压器 减速电场 聚焦电极 束流能量 分析仪 分辨率 能谱 束流 低能强流 减速电压 能量分析 能谱测量 实时测量 扫描 测量 减速 穿过 分析 | ||
【主权项】：
1.一种束流能量分析仪，其特征在于，包括：刮束器、聚焦电极、减速栅网、收集极以及快速束流变压器FCT；所述刮束器用于对待分析能谱的电子束进行刮束，使得部分电子束入射通过所述刮束器；所述减速栅网用于提供减速电场，以对入射通过所述刮束器的部分电子束减速；所述减速栅网用于使得能量大于减速栅网电压的粒子穿过减速栅网；所述收集极用于收集穿过所述减速栅网的电子束；所述快速束流变压器FCT用于实时测量收集极收集到的电子束粒子流强，所述收集极收集到的电子束粒子流强与所述减速电压的关系用于分析所述电子束的能谱。
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