[发明专利]一种碳化硅陶瓷的微型部件的生产工艺

摘要

本发明公开了一种碳化硅陶瓷的微型部件的生产工艺，包括以下方法步骤，a，粉料的制作，使用Si粉末作为原料，并配置研磨介质，湿式球磨对Si粉进行粉碎处理，球磨使用碳化硅球和有碳化硅内衬的罐，使Si粉细化到直径2‑8μm；b，将硅粉末与焦炭混合，利用二氧化硅和石油焦，加入食盐和木屑，置入电炉中，进行持续加热，然后取料；c，将步骤b中碳化硅粉进行设计预烧体，然后机械加工成薄片，并使用精密研磨机械或微细电火花加工机械对薄片进行微细加工；d，将加工后的工件置于石墨或碳化硅坩埚中；e，将碳化处理后的工件进行加工，最后进行磨削和抛光。本发明结合激光、超声等现代先进的加工技术融入到产品加工中，提高了产品的生产效率和质量。

主权项

1.一种碳化硅陶瓷的微型部件的生产工艺，其特征在于：包括以下方法步骤，a，粉料的制作，使用Si粉末作为原料，并配置浓度为80％～90％的乙醇作为溶剂，将其倒入并与原料混合，然后充分浸渍3小时‑6小时后进行混合，时间控制在0.5小时以内，作为研磨介质，湿式球磨对Si粉进行粉碎处理，球磨使用碳化硅球和有碳化硅内衬的罐，使Si粉细化到直径2‑8μm；b，将硅粉末与焦炭混合，利用其中的二氧化硅和石油焦，加入食盐和木屑，置入电炉中，进行持续加热，然后取料；c，将步骤b中碳化硅粉进行设计预烧体，然后机械加工成薄片，机械加工成的薄片直径为3‑28mm，厚度为1‑6mm，并使用精密研磨机械或微细电火花加工机械对所述薄片进行微细加工；d，将加工后的工件置于石墨或碳化硅坩埚中，放入通有一氧化碳的电炉腔室内进行碳化处理，并在坩埚底部铺垫碳酸钙颗粒，将工件置于碳酸钙颗粒之上，在1300‑1450℃温度范围内进行碳化处理；e，将碳化处理后的工件进行加工，最后进行磨削和抛光，完成碳化硅陶瓷的微型部件的加工生产。