[发明专利]一种环糊精衍生物型光敏树脂及其制备方法、基于其的抗蚀剂组合物和应用有效
| 申请号： | 201810355045.9 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108659223B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 庞浩;李桃;廖兵;年福伟;黄建恒;汪慧怡;韦代东;蒙业云;罗业燊 | 申请（专利权）人： | 中科院广州化学有限公司南雄材料生产基地;中科院广州化学有限公司;中科院广州化学所韶关技术创新与育成中心;南雄中科院孵化器运营有限公司;中国科学院大学 |
| 主分类号： | C08G75/045 | 分类号： | C08G75/045;C08B37/16;G03F7/004 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 512400 广东省韶关市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于高分子材料技术领域，公开了一种环糊精衍生物型光敏树脂及其制备方法、基于其的抗蚀剂组合物和在微电子领域中的应用。本发明环糊精衍生物型光敏树脂由包括巯基环糊精衍生物、含酸敏基团的烯类化合物、含极性基团的烯类化合物混合反应得到。本发明环糊精衍生物型光敏树脂可应用于微电子领域中。本发明还提供一种基于上述环糊精衍生物型光敏树脂的抗蚀剂组合物。本发明通过把含酸敏基团的烯类化合物和含极性基团的烯类化合物与巯基环糊精衍生物反应，制备性能可调、成膜性能优异、分子量分布窄、分辨率高的新型分子玻璃体抗蚀剂，有效地解决了现有分子玻璃体型抗蚀剂保护基团单一、基底黏附性能不佳、收缩率大、容易开裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环糊精 衍生物 光敏 树脂 及其 制备 方法 基于 抗蚀剂 组合 应用 | ||
【主权项】：
1.一种环糊精衍生物型光敏树脂，其特征在于由包括巯基环糊精衍生物、含酸敏基团的烯类化合物、含极性基团的烯类化合物混合反应得到。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中科院广州化学有限公司南雄材料生产基地;中科院广州化学有限公司;中科院广州化学所韶关技术创新与育成中心;南雄中科院孵化器运营有限公司;中国科学院大学，未经中科院广州化学有限公司南雄材料生产基地;中科院广州化学有限公司;中科院广州化学所韶关技术创新与育成中心;南雄中科院孵化器运营有限公司;中国科学院大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810355045.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
