[发明专利]自激式全固态射频电源

摘要

本发明公开了一种自激式全固态射频电源，包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路、控制器和精密功率检测器，精密功率检测器包括有相位比较电路，检测射频功率放大电路输出至负载的入射功率和反射功率；射频信号发生器将根据入射功率和反射功率来调整其输出功率信号的频率，以使得射频功率放大电路输出至负载的反射功率小于入射功率的1％，控制器根据入射功率和反射功率来调整供电线路施加至射频功率放大电路的电压。本发明能够实现高精度的射频功率检测，检测范围宽，精度一致性好，死区小，能够实时保护射频功率放大电路，避免损坏失效。

主权项

1.一种自激式全固态射频电源，所述自激式全固态射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路、控制器，其特征在于：还包括有精密功率检测器，所述精密功率检测器分别电气连接所述射频信号发生器、所述射频功率放大电路和所述控制器，所述精密功率检测器检测所述射频功率放大电路输出至负载的射频功率状况，所述射频功率状况包括有入射功率和反射功率；所述射频信号发生器将根据所述精密功率检测器检测到的所述入射功率和所述反射功率来调整其输出功率信号的频率，以使得所述射频功率放大电路输出至负载的所述反射功率小于所述入射功率的1％，所述控制器根据来自所述精密功率检测器的所述入射功率和所述反射功率来调整与所述控制器电气连接的所述供电线路施加至所述射频功率放大电路的电压；其中，所述精密功率检测器包括相位比较电路、电压互感器、电流互感器、精密检波模块和微控制器，所述微控制器集成有模数转换器和微处理单元，所述电压互感器和所述电流互感器分别与所述精密检波模块相连，所述精密检波模块包括加法电路、减法电路、整流电路和滤波放大电路，所述加法电路将来自所述电压互感器和所述电流互感器的信号进行加法运算，所述减法电路将来自所述电压互感器和所述电流互感器的信号进行减法运算，所述加法电路和所述减法电路分别与所述整流电路相连，所述整流电路连接所述滤波放大电路，所述滤波放大电路与所述微控制器相连，所述相位比较电路分别与所述电压互感器、所述电流互感器、所述微控制器相连，对来自所述电压互感器和所述电流互感器的信号进行相位比较，并且将相位比较结果发送至所述微控制器。