[发明专利]一种基于弹光调制的光谱椭偏测量装置及方法

摘要

本发明涉及领域椭偏测量方法及仪器设备技术领域，更具体而言，涉及一种基于弹光调制的光谱椭偏测量装置及方法，该光谱椭偏测量装置及方法是基于45°双驱动对称结构弹光偏振调制和FPGA的弹光驱动控制及数据信号处理技术实现的。复色光源经单色仪输出准单色光后，经过光速整形及准直，通过起偏器、待测样品、弹光调制器，最后经检偏器出射，并被光电倍增管探测接收。在FPGA单元中实现调制光信号倍频项的同相分量和正交分量解调，并传入控制电脑。该光谱椭偏测量装置无需机械调节，测量速度快，精度和灵敏度较高、便于自动化控制，能够为椭偏测量技术相关领域提供新理论和新方法。

主权项

1.一种基于弹光调制的光谱椭偏测量装置，其特征在于，该装置包括复色光源(1)、单色仪(2)、光束准直系统(3)、椭偏测量系统和信号处理及控制系统，所述椭偏测量系统包括起偏器(4)、样品台(5)、弹光调制器(6)、检偏器(7)、光电倍增管(8)，所述信号处理及控制系统包括信号采集及数据处理单元(9)和控制电脑(10)；所述复色光源(1)、单色仪(2)、光束准直系统(3)、起偏器(4)、样品台(5)、弹光调制器(6)、检偏器(7)、光电倍增管(8)沿入射光路依次设置，所述信号采集及数据处理单元(9)设置在光电倍增管(8)后，用来将光电倍增管(8)探测到的调制光信号转换为数字信号，并进行数据处理，最后将数据处理结果输入控制电脑(10)，并触发单色仪(2)同时工作。