[发明专利]一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机有效
申请号: | 201810290640.9 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN108389935B | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 梁明刚 | 申请(专利权)人: | 广东启天自动化智能装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 深圳卓正专利代理事务所(普通合伙) 44388 | 代理人: | 万正平 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,所述单晶制绒整线插分双片自动化上下料机包括硅片分双片装置,该硅片分双片装置包括机架、设置在机架上用于放置花篮的花篮放置位、设置在花篮放置位侧边的花篮定位组件和单片固定组件,以及设置在机架一侧的用于对双硅片进行分离的硅片分离组件。根据本发明的硅片分双片装置,通过单片固定组件和硅片分离组件的配合完成双片硅片的自动分片以及下料操作,效率更高,且废品率更低、产能更高。 | ||
搜索关键词: | 硅片 双片 单晶制绒 上下料机 花篮 线插 分离组件 固定组件 自动化 放置位 单片 定位组件 侧边 产能 下料 配合 | ||
【主权项】:
1.一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于,所述单晶制绒整线插分双片自动化上下料机包括硅片分双片装置,所述硅片分双片装置包括机架、设置在机架上用于放置花篮的花篮放置位、设置在花篮放置位侧边的花篮定位组件和单片固定组件,以及设置在机架一侧的用于对双硅片进行分离的硅片分离组件;所述硅片分离组件包括用于分离硅片的分离吸盘组件、用于推送硅片的推送组件和用于驱动分离吸盘组件及推送组件进行移动的机械手,所述推送组件安装在分离吸盘组件的两侧。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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