[发明专利]一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片有效
| 申请号： | 201810290195.6 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN108693160B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 赖春红;吴聪;夏大杨;何婷;叶林欣;王春瑞 | 申请（专利权）人： | 重庆邮电大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400065 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片，耦合光栅(1)、介质波导、表面等离子波导、微流体结构和硅基底(2)；介质波导由波导上包层(3)、波导下包层(4)和波导芯层(5)组成；波导上包层(3)设置在波导芯层(5)的上表面，耦合光栅(1)分布在波导芯层(5)的上表面，且耦合光栅(1)未与波导上包层(3)接触；硅基底(2)、波导下包层(4)和波导芯层(5)的外表面齐平，波导上包层(3)、表面等离子波导芯层(9)和微流体通道(8)的外表面齐平。本发明的基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片，结构简单、尺寸很小，可在单一芯片上制作阵列式结构，提高检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 长程 等离子 波导 表面 增强 拉曼光 流体 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片，其特征在于：耦合光栅(1)、介质波导、表面等离子波导、微流体结构和硅基底(2)；所述介质波导由波导上包层(3)、波导下包层(4)和波导芯层(5)组成，所述波导下包层(4)层叠设置在所述硅基底(2)的上表面，所述波导芯层(5)层叠设置在所述波导下包层(4)的上表面；所述波导上包层(3)设置在所述波导芯层(5)的上表面，且所述波导上包层(3)的下表面积小于所述波导芯层(5)的上表面积；所述耦合光栅(1)分布在所述波导芯层(5)的上表面，且所述耦合光栅(1)未与所述波导上包层(3)接触；所述波导上包层(3)的上表面设置有表面等离子波导芯层(9)；所述微流体结构由进液通道(6)、出液通道(7)和微流体通道(8)组成；所述微流体通道(8)层叠设置在所述表面等离子波导芯层(9)的上表面，所述进液通道(6)和出液通道(7)均设置于所述微流体通道(8)的上表面；所述硅基底(2)、波导下包层(4)和波导芯层(5)的外表面齐平，所述波导上包层(3)、表面等离子波导芯层(9)和微流体通道(8)的外表面齐平；入射光从耦合光栅(1)射入并从波导芯层(5)另一端射出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆邮电大学，未经重庆邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810290195.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
