[发明专利]一种应用于拼接镜的粗共相调节的方法与检测系统

摘要

一种应用于拼接镜的粗共相调节的检测系统，包括：拼接望远镜，准直透镜，4f系统，第一分束器，拼接镜MASK，第二分束器，第三分光束，成像系统，夏克‑哈特曼波前探测器以及控制系统。本发明提出利用远场光斑相干性的方法来检测拼接镜piston误差，本方法具有无限量程检测、较快速度和高能量利用率的检测piston误差的优点；本发明在拼接镜背后放置的三电容传感器来控制驱动器的精确移动，达到了主动共相调节的目的。

主权项

1.一种应用于拼接镜的粗共相调节的检测系统，其特征在于包括：拼接望远镜，包括多个拼接子镜，所述拼接子镜背后设有电容传感器和促动器，所述拼接望远镜接收外围来自待测物体的入射光线，并会聚成出射光线发出；准直透镜，将接受光束转为平行光束；4f系统，将来准直透镜的光束导向第一分束器；第一分束器，将入射光束分成第一分光束和第二分光束；拼接镜MASK，将第二分光束导向第一夏克‑哈特曼波前探测器；第二分束器，将第一分光束分成第三分光束以及第四分光束；第三分光束导向成像系统，第四分光束导向第二夏克‑哈特曼波前探测器；以及控制系统，与第一夏克‑哈特曼波前探测器、第二夏克‑哈特曼波前探测器以及成像系统数据连通，并与电容传感器和促动器电性连接。