[发明专利]一种柔性紫外光探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810268718.7 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108630766B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 杨伯儒;张伟;许钰旺;翁明;李京周;柳成林 | 申请（专利权）人： | 佛山市顺德区中山大学研究院;广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224;H01L31/0264;H01L31/102;H01L31/18;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528399 广东省佛山市顺德区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种紫外光探测器，包括有源层、电极层和衬底，衬底采用柔性材料制成，电极层采用金属纳米线制成，制成的紫外光探测器耐弯折性较好，扩大了使用的范围；本发明的一种紫外光探测器的制备方法，运用光敏化合物的特性进行图案的刻蚀，相比于传统的激光刻蚀和黄光刻蚀而言，本发明的方法不需要昂贵的刻蚀设备，成本较低，并且制作过程简单，不会产生化学废液，因此效率更高并且也较为环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 紫外光 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性紫外光探测器，其特征在于：包括柔性的衬底(1)、有源层(2)以及电极层(3)，所述有源层(2)包括带有图案的金属氧化物纳米线，所述电极层(3)包括带有图案的金属纳米线，所述有源层(2)、电极层(3)、衬底(1)依次排列设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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