[发明专利]研磨装置及研磨方法在审
| 申请号： | 201810257492.0 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108340237A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 王子安;宋伟;李增红;黄汉卿;王河;包珊珊;孟勃;朱明远;苗冬 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B9/10 | 分类号： | B24B9/10;B24B49/00;B24B51/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明技术方案的目的是提供一种研磨装置及研磨方法。该研磨装置包括：研磨轮，用于对待研磨基板的相对两个边缘进行研磨；驱动结构，与所述研磨轮连接，用于驱动所述研磨轮移动；边缘检测结构，与所述驱动结构连接，用于检测待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置，根据所检测的位置，向所述驱动结构输出控制信号，使所述驱动结构驱动所述研磨轮移动，所述研磨轮的研磨中心面与所述中心线位于同一平面。该研磨装置通过设置边缘检测结构，能够自动地检测待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置，解决现有技术研磨装置对位存在偏差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨装置 研磨轮 驱动结构 研磨 待研磨基板 边缘检测 检测 驱动 输出控制 研磨基板 中心面 自动地 移动 对位 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其特征在于，包括：研磨轮，用于对待研磨基板的相对两个边缘进行研磨；驱动结构，与所述研磨轮连接，用于驱动所述研磨轮移动；边缘检测结构，与所述驱动结构连接，用于检测待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置，根据所检测的位置，向所述驱动结构输出控制信号，使所述驱动结构驱动所述研磨轮移动，所述研磨轮的研磨中心面与所述中心线位于同一平面。
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