[发明专利]具有特定模态振型的微机电压电超声波换能器有效
| 申请号： | 201810253797.4 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108311361B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 谢金;刘鑫鑫;陈旭颖;陈冬阳 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有特定模态振型的微机电压电超声波换能器。换能器设有基底、结构层、底电极、压电层、上电极。换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。本发明在结构层上通过实现特定振动结构达到特定模态振型，该振型具有更大的发射声压以及更高的空间利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 特定 模态振型 微机 压电 超声波 换能器 | ||
【主权项】：
1.一种具有特定模态振型的微机电压电超声波换能器，其特征在于：包括基底(4)、底电极(3)、压电层(2)和上电极(1)，基底(4)背面中间部分开设槽形空腔，使基底(4)正面形成弹性结构层(41)，槽形空腔周边的基底(4)作为弹性结构层(41)的固定端；所述的槽形空腔由4个相同的圆柱形空腔单元(01)相切形成，且四个圆柱形空腔单元(01)之间夹持的柱形的基底(4)也同时掏空；每个空腔单元(01)上方的弹性结构层(41)的正面依次堆叠底电极(3)、压电层(2)和上电极(1)，与弹性结构层(41)共同构成四个振动薄膜单元(00)；其中底电极(3)连续覆盖基底(4)的正面，压电层(2)和上电极(1)均呈圆形且圆心与所述的空腔单元(01)同轴；所述压电层(2)面积大于上电极(1)面积。
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