[发明专利]离子束装置有效
| 申请号： | 201810237376.2 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108735565B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 松原信一;川浪义实;志知广康 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/28;H01J37/305 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 金光华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种离子束装置，能够减轻对试样造成的损伤，并且在短时间内切换观察和加工。本发明所涉及的离子束装置切换照射将H3+离子包含得最多的离子束的动作模式和照射将比H3+重的离子包含得最多的离子束的动作模式。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子束装置，其特征在于，具备：发射器尖端，具有针状的前端；引出电极，与所述发射器尖端相对地配置，在离开所述发射器尖端的位置处具有开口；气体供给源，供给气体；气体供给配管，将从所述气体供给源供给的气体供给到所述发射器尖端的附近；以及电压施加部，通过对所述发射器尖端与所述引出电极之间施加电压，从所述发射器尖端照射离子束，所述电压施加部通过切换施加照射将H3+离子包含得最多的所述离子束的第1电压的动作模式和施加照射将比H3+重的离子包含得最多的所述离子束的第2电压的动作模式，从而切换所述离子束的种类。
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