[发明专利]传感器元件

摘要

本发明的课题在于抑制Pt的扩散、以及因固体电解质层与绝缘层之间的热膨胀系数差而引起的裂纹以使传感器元件长寿命化。平板状传感器元件的加热器部具有：含有Pt的加热构件；以90～99.9wt％的重量比含有热膨胀系数与构成元件的基体部的固体电解质不同的绝缘材料的绝缘层；以及在传感器元件主面露出的加热器电极，加热器部的加热器电极以外的部分埋设于基体部，绝缘层具有气孔率为20～40％的多孔质部以及气孔率为4％以下的致密部，加热构件被致密部覆盖，绝缘层中的致密部以外的部分为多孔质部，加热构件上的多孔质部与致密部的层叠部分的总厚度为25～100μm，层叠部分的致密部的厚度为5μm以上，层叠部分的致密部的厚度相对于多孔质部的厚度的比值为0.05～2.0。

主权项

1.一种传感器元件，其是配备于对被测定气体中的规定气体成分进行检测的气体传感器的、平板状的传感器元件，所述传感器元件的特征在于，具备：基体部，该基体部含有氧离子传导性的固体电解质；以及加热器部，该加热器部对所述传感器元件进行加热，所述加热器部具有：含有Pt的加热构件，该加热构件被从外部供电而发热；绝缘层，该绝缘层以90wt％～99.9wt％的重量比而含有热膨胀系数与所述固体电解质的热膨胀系数不同的绝缘材料；以及加热器电极，该加热器电极配备成在所述传感器元件的主面露出，并与所述加热构件电连接，所述加热器部的除了所述加热器电极以外的部分埋设于所述基体部，所述绝缘层具有：气孔率为20％～40％的多孔质部；以及气孔率为4％以下的致密部，所述加热构件被所述致密部覆盖，所述绝缘层中的除了所述致密部以外的部分为所述多孔质部，所述加热构件上的所述多孔质部与所述致密部的层叠部分的总厚度为25μm～100μm，所述层叠部分的所述致密部的厚度为5μm以上，所述层叠部分的、所述致密部的厚度相对于所述多孔质部的厚度的比值为0.05～2.0。