[发明专利]微粒制造装置以及微粒制造方法

摘要

本发明提供一种能够提高微粒的处理效率并增加生产量的微粒制造装置以及方法。该微粒制造装置具有：真空室；材料供给装置，与真空室一端侧连接，将材料粒子从材料供给口向真空室内供给；多个电极，被配置于真空室中间部，相位相互不同的交流电力分别被施加并产生等离子体；和回收装置，与真空室另一端连接并回收微粒，所述微粒制造装置产生等离子体，从材料粒子制造微粒，在真空室中间部具有：在从材料供给口附近到回收装置之间相对于材料流动的方向分别交叉的、材料供给口侧的第1电极配置区域、和从第1电极配置区域向回收装置侧分离的第2电极配置区域，在第1电极配置区域和第2电极配置区域分别配置多根电极并构成为多级。

主权项

1.一种微粒制造装置，具有：真空室；材料供给装置，与所述真空室的一端侧连接，将材料的粒子从材料供给口向所述真空室内供给；多个电极，被配置于所述真空室的中间部，分别被施加相位相互不同的交流电力在所述真空室内产生等离子体；和回收装置，与所述真空室的另一端连接并回收微粒，所述微粒制造装置在所述真空室内产生等离子体，从所述材料的粒子制造所述微粒，在所述真空室的中间部具有：材料供给口侧的第1电极配置区域、和向回收装置侧与所述第1电极配置区域分离的第2电极配置区域，所述第1电极配置区域以及所述第2电极配置区域在从所述材料供给口的附近到所述回收装置之间分别相对于所述材料流动的方向交叉，在所述第1电极配置区域与所述第2电极配置区域分别配置多根所述电极并构成为多级，配置于所述第1电极配置区域的所述电极的倾斜角度比配置于所述第2电极配置区域的所述电极的倾斜角度大。