[发明专利]一种基于光敏位置传感器反馈的微球透镜超分辨率光学扫描成像系统及其成像方法在审
| 申请号： | 201810204893.X | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108445261A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李广勇;刘振勇 | 申请（专利权）人： | 苏州显纳精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q60/00 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光敏位置传感器反馈的微球透镜超分辨率光学扫描成像系统，包括反馈和扫描控制器，扫描台，扫描台上设有样品台，样品台上方设有微球透镜，微球透镜上方设有光学显微镜，所述微球透镜固定于探针上，探针通过柔性连接件与手动位移台相连接，手动位移台上设有激光发射器，所述探针上设有反射激光发射器发出的光线的平面反光镜，在激光发射器上方设有接收平面反光镜反射光线的光敏位置传感器，光敏位置传感器可以检测由微球与样品表面的接触力导致的平面反光镜偏转，通过反馈和扫描控制器驱动扫描台，可以维持微球与样品表面的恒定接触。本发明还公开了本成像系统的成像方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微球透镜 光敏位置传感器 探针 反馈 光学扫描成像 激光发射器 平面反光镜 扫描控制器 超分辨率 样品表面 扫描台 微球 成像 反光镜 偏转 光学显微镜 柔性连接件 手动位移台 发射器 成像系统 反射光线 反射激光 恒定接触 接收平面 手动位移 接触力 样品台 扫描 驱动 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于光敏位置传感器反馈的微球透镜超分辨率光学扫描成像系统，包括反馈和扫描控制器(11)，三维扫描台(1)，扫描台上设有样品台(10)，样品台上方设有微球透镜(5)，微球透镜上方设有光学显微镜(6)，所述微球透镜固定于探针(4)上，探针固定于手动位移台(2)上，其特征在于：所述探针(4)通过柔性连接件(3)与手动位移台(2)相连接，手动位移台(2)上设有激光发射器(7)，所述探针(4)上设有反射激光发射器发出的光线的平面反光镜(8)，手动位移台(2)上在激光发射器(7)上方设有接收平面反光镜(8)反射光线的光敏位置传感器(9)，光敏位置传感器(9)可以检测由微球透镜(5)与样品表面的接触力导致的平面反光镜(8)的偏转，通过反馈和扫描控制器(11)驱动三维扫描台(1)，可以保证在扫描样品过程中，维持微球透镜(5)与样品表面在设定接触力下的恒定接触，从而保证微球透镜近场光学超分辨率成像条件，实现大视场范围超分辨率扫描成像。
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