[发明专利]喷淋板、处理装置和喷出方法有效
| 申请号: | 201810186981.1 | 申请日: | 2018-03-07 |
| 公开(公告)号: | CN108570662B | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
| 发明(设计)人: | 加藤视红磨;寺田贵洋;益永孝幸;大泷诚;长谷川仁;安达浩祐;津野聪 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
| 主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;H01L21/67 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐殿军 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 根据实施方式,喷淋板包括第一构件和第二构件。所述第一构件包括设置有多个第一开口的第一壁并且在内部包括与所述第一开口连通的室。所述第二构件包括设置有第二开口并被布置在所述室中的第二壁。所述第二构件被布置在与所述第一构件间隔开的位置,并且通过改变相对于所述第一构件的所述第二构件的位置能够将面向所述第二开口的所述第一开口中的一个第一开口替换为所述第一开口中的另一个第一开口。 | ||
| 搜索关键词: | 喷淋 处理 装置 喷出 方法 | ||
【主权项】:
1.一种喷淋板,包括:第一构件,包括第一壁,所述第一壁设置有多个第一开口,并且所述第一构件在内部设有与所述第一开口连通的室;以及第二构件,包括第二壁,所述第二壁设置有第二开口并布置在所述室中,所述第二构件被布置在与所述第一构件间隔开的位置,并且通过改变所述第二构件相对于所述第一构件的位置而能够将面向所述第二开口的所述第一开口中的一个第一开口替换为所述第一开口中的另一个第一开口。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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