[发明专利]喷淋板、处理装置和喷出方法有效

专利信息
申请号: 201810186981.1 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN108570662B 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 加藤视红磨;寺田贵洋;益永孝幸;大泷诚;长谷川仁;安达浩祐;津野聪 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;H01L21/67
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 根据实施方式,喷淋板包括第一构件和第二构件。所述第一构件包括设置有多个第一开口的第一壁并且在内部包括与所述第一开口连通的室。所述第二构件包括设置有第二开口并被布置在所述室中的第二壁。所述第二构件被布置在与所述第一构件间隔开的位置,并且通过改变相对于所述第一构件的所述第二构件的位置能够将面向所述第二开口的所述第一开口中的一个第一开口替换为所述第一开口中的另一个第一开口。
搜索关键词: 喷淋 处理 装置 喷出 方法
【主权项】:
1.一种喷淋板,包括:第一构件,包括第一壁,所述第一壁设置有多个第一开口,并且所述第一构件在内部设有与所述第一开口连通的室;以及第二构件,包括第二壁,所述第二壁设置有第二开口并布置在所述室中,所述第二构件被布置在与所述第一构件间隔开的位置,并且通过改变所述第二构件相对于所述第一构件的位置而能够将面向所述第二开口的所述第一开口中的一个第一开口替换为所述第一开口中的另一个第一开口。
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