[发明专利]一种三明治结构薄膜及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201810186204.7 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108456850B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 周华;谢静;柯善明 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/28;C23C14/35;C23C14/50;H05B3/34 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三明治结构薄膜及其制备方法与应用，其中，所述三明治结构薄膜包括：云母基底、及在所述云母基底上设置的下层氧化物薄膜、夹层金属薄膜、上层氧化物薄膜。本发明所述三明治结构薄膜表面粗糙度低，光电性能优异，作为薄膜加热器使用响应迅速效率高，也可用于其他电子器件的电极，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 结构 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种三明治结构薄膜，其特征在于，包括云母基底、及在所述云母基底上设置的下层氧化物薄膜、夹层金属薄膜、上层氧化物薄膜。
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