[发明专利]用于被成像的样品的光学畸变校正方法有效
| 申请号： | 201810185711.9 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108573468B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·兰洛伊斯;保罗·贝利茨 | 申请（专利权）人： | 伊鲁米那股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T3/00 | 分类号： | G06T3/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及用于被成像的样品的光学畸变校正。描述了用于在具有重复斑点的图案化样品的成像期间动态校正图像畸变的技术。不同组的图像畸变校正系数可以在多周期成像运行的第一成像周期期间针对样品的不同区域被计算出并且随后被实时地应用于在后续周期期间所生成的图像数据。在一个实施方式中，可以通过以下步骤针对具有重复斑点的图案化样品的图像计算图像畸变校正系数：估计图像的仿射变换；锐化该图像；以及迭代地搜索用于经锐化的图像的最佳畸变校正系数组，其中迭代地搜索用于经锐化的图像的最佳畸变校正系数组包括计算图像中的斑点位置的平均纯净度，并且其中在搜索的每次迭代期间应用所估计出的仿射变换。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 成像 样品 光学 畸变 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：对包括多个斑点的图案化样品执行第一成像周期；将在所述第一成像周期期间生成的第一组成像数据划分成第一多个成像数据子集，所述第一多个成像数据子集中的每个成像数据子集对应于所述图案化样品的相应区域，所述图案化样品的相应区域中的每个区域包括多个斑点；针对所述第一多个成像数据子集中的每个成像数据子集计算一组图像畸变校正系数；对所述图案化样品执行第二成像周期以生成第二组成像数据；以及将在所述第二成像周期期间生成的所述第二组成像数据划分为第二多个成像数据子集，所述第二多个成像数据子集中的每个成像数据子集与所述第一多个成像数据子集中的一个成像数据子集对应于所述图案化样品的相同的相应区域；以及针对所述第二多个成像数据子集中的每个成像数据子集，应用针对所述第一多个成像数据子集中的对应于所述图案化样品的相同的相应区域的一个成像数据子集所计算出的畸变校正系数。
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