[发明专利]一种复合钼合金板材的制备方法

摘要

本发明公开了一种复合钼合金板材的制备方法，该方法可达到显著改善和控制材料的组织结构的目的，多层薄膜结构不但可以阻碍氧空位的迁移，本发明采用磁控溅射的方法，并采用低温轧制的手段，在钼合金板材表面形成稀土记忆合金层，能够将提升该合金的屈服强度，使得钼合金板材的表面均匀致密、膜基结合强度高、力学性能优良。

主权项

1.一种复合钼合金板材的制备方法，该方法包括如下步骤：（1）制备基板将Mo5Si3/ Y2O3，球磨至平均粒径为100‑300nm；按设计的钼掺杂材料组分配比分别取平均粒径＜8μm的纯钼粉与第一步所制备的Mo5Si3/ Y2O3混合，采用传统粉末冶金方法进行混合、压制成烧结板坯；将所得烧结板坯在纯氢气氛下加热至1850℃‑2050℃，保温5‑10小时进行烧结；随炉冷却后，得到烧结坯；将得到的烧结坯由室温加热至1350℃‑1500℃热轧，道次变形量为20％‑35％，总变形量大于80％时，完成轧制的到基板；（2）基板预处理所述基板预处理，可依次进行研磨抛光、超声清洗和离子源清洗；（3）制备稀土记忆合金靶材该稀土记忆合金靶材由钛、镍、铝、钇、铬、硅元素构成；按重量份包括如下组分：钛55‑65份，镍10‑12份；铝6‑9份；钇1‑3份、铬4‑6份；硅1‑2份；采用熔炼法制备得到稀土记忆合金靶材 ；（4）采用上述合金靶材，使用磁控溅射方法，在上述基板上形成薄膜状的稀土记忆合金层：抽真空至10‑4Pa以上，充入氮气，然后再抽真空至10‑4Pa，调整工作电压为500V，溅射占空比65‑68%，开始进行溅射沉积，控制厚度为150‑250μm得到薄膜状的稀土记忆合金层；启动轧机系统，设定上下轧辊的速比为1.2‑1.5 ，设定每次轧制形变量为2‑3%；设定低速辊的速度为0.05‑0.1m/s，开始具有稀土记忆合金层的钨镍合金的轧制过程；一次轧制过后，重复进行轧制3‑5次，轧制过程中，保持环境温度为‑30至‑20摄氏度；在150‑200摄氏度进行低温热处理1‑2h，得到产品。