[发明专利]一种高灵敏红外异质结光电传感器及其制备方法

摘要

本发明公开一种高灵敏红外异质结光电传感器及其制备方法，其中，所述光电传感器包括设置在衬底上的带隙半导体薄膜以及交叉堆叠在所述带隙半导体薄膜上表面的导流薄膜，所述带隙半导体薄膜和导流薄膜之间的交叉重叠区域通过范德华相互作用形成光电异质结，所述带隙半导体薄膜的两端以及导流薄膜的两端均通过金属电极固定在所述衬底上。本发明的光电传感器结构简单、容易制备、光电响应速度快、光电输出能力高、光电响应范围涵盖红外光区域，可广泛用于弱光检测、红外探测等。

主权项

1.一种高灵敏红外异质结光电传感器，其特征在于，包括设置在衬底上的带隙半导体薄膜以及交叉堆叠在所述带隙半导体薄膜上表面的导流薄膜，所述带隙半导体薄膜和导流薄膜之间的交叉重叠区域通过范德华相互作用形成光电异质结，所述带隙半导体薄膜的两端以及导流薄膜的两端均通过金属电极固定在所述衬底上。