[发明专利]一种硅片切割液除沫装置在审

专利信息
申请号: 201810181228.3 申请日: 2018-03-06
公开(公告)号: CN108211427A 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 陆剑鸣;陈忠 申请(专利权)人: 南京圣卡孚科技有限公司
主分类号: B01D19/00 分类号: B01D19/00
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 张丽;董建林
地址: 210000 江苏省南京市高新区星火路*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种硅片切割液除沫装置,包括外筒体和内筒体,所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连,所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头,所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网;所述内筒体中心位置处设有锥形中心管,所述锥形中心管的正上方设有浮子,所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通,所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网,所述锥形中心管的底部设有出液管,所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板,所述出液管上设有出液孔;所述内筒体的顶部设有圆形盖板,所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。
搜索关键词: 锥形中心管 内筒体 外筒体 出液管 硅片切割液 除沫装置 管壁 滤网 内筒体中心位置 内筒体外壁 固定相连 圆形盖板 锥形封头 出液孔 定向轮 进液管 内圆环 外圆环 万向轮 浮子 盲板 外筒 连通 体内 贯穿
【主权项】:
1.一种硅片切割液除沫装置,其特征在于:包括外筒体和内筒体,所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连,所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头,所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网;所述内筒体中心位置处设有锥形中心管,所述锥形中心管的正上方设有浮子,所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通,所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网,所述锥形中心管的底部设有出液管,所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板,所述出液管上设有出液孔;所述内筒体的顶部设有圆形盖板,所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。
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