[发明专利]一种旋干机用带有引导架的治具

摘要

本发明公开了一种旋干机用带有引导架的治具，其技术方案要点是：该治具的主体为治具结构，该治具结构包括用以置放多个晶圆的晶圆载具，该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆，该治具结构还包括：一治具基板，其上设有多个连接件，且每一该连接件具有至少一沟槽；以及一治具顶板，其上设有多个开槽，该治具顶板连接所述连接件，并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽，构成多个容置腔体，该容置腔体用以置放该晶圆载具，该治具还包括插接在治具顶板的外侧且用于将晶圆载具安装到容置腔体的引导架。其优点是该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果。

主权项

1.一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：该治具的主体为治具结构(10)，该治具结构(10)包括用以置放多个晶圆(16)的晶圆(16)载具(12)，该晶圆(16)载具(12)于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆(16)载具(12)可用以置放多个晶圆(16)，该治具结构(10)还包括：一治具基板(18)，其上设有多个连接件(202)，且每一该连接件(202)具有至少一沟槽(22)；以及一治具顶板(24)，其上设有多个开槽(26)，该治具顶板(24)连接所述连接件(202)，并且由相邻四该连接件(202)的该沟槽(22)与其所对应的该开槽(26)，构成多个容置腔体(28)，该容置腔体(28)用以置放该晶圆(16)载具(12)，该治具还包括插接在治具顶板(24)的外侧且用于将晶圆(16)载具(12)安装到容置腔体(28)的引导架(5)。