[发明专利]一种绝缘膜组合式石英压电传感器及其标定方法在审
| 申请号： | 201810172322.2 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108362420A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 林鹏 | 申请（专利权）人： | 西京学院 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01L5/14;G01L25/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 何会侠 |
| 地址： | 710123 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种绝缘膜组合式石英压电传感器及其标定方法，传感器包括上层聚酰亚胺绝缘膜和下层聚酰亚胺绝缘膜之间设置有石英晶片，石英晶片的上下面布设铜箔引线；将石英晶片的负极面和正极面之间串联负载电阻R和示波器，得到压电传感器测量组件；将压电传感器测量组件中的石英晶片的负极面紧贴于靶，靶采用铝的表面，用于测量靶表面上的冲击波应力σ(t)随时间的变化；由传感器测量的压电信号进行积分，最后得到每一炮实验的传感器动态压电灵敏度系数；取多次实验结果进行平均，得到压电传感器的动态压电系数；本发明具有、抗干扰性能强、绝缘性能好、使用方便、制作工艺简单的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石英晶片 压电传感器 聚酰亚胺绝缘膜 石英压电传感器 测量组件 负极面 绝缘膜 组合式 标定 串联负载电阻 传感器测量 传感器动态 绝缘性能好 抗干扰性能 压电灵敏度 铜箔引线 压电系数 压电信号 制作工艺 冲击波 布设 测量靶 示波器 正极面 传感器 下层 紧贴 上层 | ||
【主权项】：
1.一种绝缘膜组合式石英压电传感器，其特征在于，包括下层聚酰亚胺绝缘膜(1)和上层聚酰亚胺绝缘膜(2)，下层聚酰亚胺绝缘膜(1)和上层聚酰亚胺绝缘膜(2)之间设置有石英晶片(3)，石英晶片(3)的上下面布设铜箔引线(4)；下层聚酰亚胺绝缘膜(1)和上层聚酰亚胺绝缘膜(2)之间注入环氧树脂(5)粘结压实封装。
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