[发明专利]硅微谐振式加速度计及其自测试方法在审
| 申请号： | 201810170248.0 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN110221098A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李建茂;李佳;王玮冰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计及其自测试方法，属于传感器技术领域。该硅微谐振式加速度计包括：谐振器、质量块和自测试结构。自测试结构包括至少一个电极对，电极对包括第一电极和第二电极，第一电极与质量块连接，能带动质量块移动，第二电极固定在加速度计的衬底上。自测试结构用于在受到电激励时，生成沿第一方向的静电力，带动质量块产生微位移，使得谐振器输出的谐振频率发生变化，以便根据谐振器的差频以及静电力得到加速度计的标度因数值，并通过比较不同电激励下得到的标度因数值，判断加速度计是否处于正常工作状态。相比于现有技术，有利于降低硅微谐振式加速度计测试的操作复杂程度和测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅微谐振式加速度计 自测试结构 加速度计 谐振器 质量块 第二电极 第一电极 电极 电激励 静电力 自测试 标度 传感器技术领域 正常工作状态 质量块移动 测试成本 谐振频率 微位移 差频 衬底 测试 输出 | ||
【主权项】：
1.一种硅微谐振式加速度计，其特征在于，包括：谐振器、质量块和自测试结构，所述谐振器与所述质量块连接；所述自测试结构包括至少一个电极对，所述电极对包括第一电极和第二电极，所述第一电极与所述质量块连接，能带动所述质量块移动，所述第二电极固定在所述加速度计的衬底上；所述自测试结构用于在受到电激励时，生成沿第一方向的静电力，带动所述质量块产生微位移，使得所述谐振器输出的谐振频率发生变化，以便根据所述谐振器的差频以及所述静电力得到所述加速度计的标度因数值，并通过比较不同所述电激励下得到的所述标度因数值，判断所述加速度计是否处于正常工作状态，其中，所述第一方向为所述谐振器的谐振梁的轴向方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810170248.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
