[发明专利]一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备

摘要

本发明涉及一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，包括溶液槽，所述溶液槽内设置有由升降机构驱动升降的载物台，所述载物台上设置有用于夹紧硅棒的夹紧机构，所述溶液槽上横向跨设有门式支撑架，所述门式支撑架上设置有用于切割硅棒的线切割机构。该带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备结构紧凑，方便用于切割硅棒时有效地处理加工后产生的硅粉。 1

主权项

1.一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，其特征在于，包括溶液槽，所述溶液槽内设置有由升降机构驱动升降的载物台，所述载物台上设置有用于夹紧硅棒的夹紧机构，所述溶液槽上横向跨设有门式支撑架，所述门式支撑架上设置有用于切割硅棒的线切割机构。

2.根据权利要求1所述的一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述夹紧机构包括沿纵向设置于载物台上的一对支撑滚轮组件，所述载物台的前后端分别设置有门式固定架，所述门式固定架的上设置有用于夹住硅棒端部的夹爪组件。

3.根据权利要求2所述的一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述载物台的台面上沿纵向设置有弧形凹部，所述支撑滚轮组件包括设置于弧形凹部内的槽板，所述槽板内沿纵向间隔设置有滚轮。

4.根据权利要求2或3所述的一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述夹爪组件包括设置于门式固定架一侧内部的第一夹爪，所述门式固定架另一侧内部设置有由驱动机构驱动实现横向移动并与第一夹爪相配合夹紧硅棒端部的第二夹爪，所述门式固定架上还设置有与驱动机构相配合实现横向移动的调整机构。

5.根据权利要求4所述的一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述第一夹爪和第二夹爪分别包括弧形夹爪架，所述弧形夹爪架的上、下端分别设置有用于与硅棒的圆周面相抵接的滚轮，弧形夹爪架的中部设置有用于与驱动机构或门式固定架相连接的销轴。

6.根据权利要求4所述的一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述调整机构包括设置于门式固定架两侧部下端并分别向外延伸的拐部，所述拐部的下侧面设置有滑块，所述滑块与横向设置于载物台上的横向导轨滑动配合；所述驱动机构为气缸或电缸。

7.根据权利要求1、2、3、5或6所述的一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备，其特征在于，所述线切割机构包括固定于门式支撑架前侧面上的面板，所述面板的下侧部设置有用于避让硅棒的弧形缺口，面板上位于弧形缺口两侧部的上下侧分别设置有由执行元件驱动旋转的带轮组件，一闭环切割线绕置于四个带轮组件上。