[发明专利]OLED显示装置的制造方法、掩模及掩模的设计方法有效
| 申请号: | 201810158926.1 | 申请日: | 2018-02-26 |
| 公开(公告)号: | CN108695361B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
| 发明(设计)人: | 松枝洋二郎;高取宪一 | 申请(专利权)人: | 天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H10K71/16 | 分类号: | H10K71/16;C23C14/04 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华;何月华 |
| 地址: | 518052 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了OLED显示装置的制造方法、掩模及掩模的设计方法。一种OLED显示装置的制造方法,使具有多个喷嘴的线性源沿第一方向移动的同时,将OLED材料通过掩模蒸镀蒸镀在基板的电极表面上。掩模在面向线性源的表面中具有多个孔。每个孔具有第一开口和位于第一开口和线性源之间的较大的第二开口。满足θT<90-θM和SX>D1×tanθM。D1是从第一开口至电极表面的距离。θM是OLED材料的在第一方向上的最大入射角。SX是从第一开口的边缘到相邻的子像素电极的在第一方向上的距离。θT是由连接第一开口的所述边缘和第二开口的边缘的直线与第一方向限定的锥角。 | ||
| 搜索关键词: | oled 显示装置 制造 方法 设计 | ||
【主权项】:
1.一种OLED显示装置的制造方法,包括:使具有多个喷嘴的线性源沿第一方向移动的同时,将有机发光材料通过掩模蒸镀到基板的电极表面上,其中,所述掩模在面向所述线性源的表面中具有多个孔,其中,所述多个孔中的每个孔具有第一开口以及比所述第一开口大的第二开口,所述第二开口位于所述第一开口和所述线性源之间,以及其中,满足关系式θT<90-θM和SX>D1×tanθM,其中,D1是从所述第一开口至所述电极表面的距离,θM是所述有机发光材料的在所述第一方向上的最大入射角,SX是从所述第一开口的边缘到相邻的子像素电极的边缘的在所述第一方向上的距离,以及θT是由连接所述第一开口的所述边缘和所述第二开口的边缘的直线与所述第一方向限定的锥角。
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