[发明专利]一种低振动低温测试装置在审
| 申请号: | 201810155018.7 | 申请日: | 2018-02-23 |
| 公开(公告)号: | CN108479878A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
| 发明(设计)人: | 林伟;黎军;王凯;雷海乐;代飞;刘喜川 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号: | B01L7/00 | 分类号: | B01L7/00 |
| 代理公司: | 安徽中天恒律师事务所 34121 | 代理人: | 朱娅娟 |
| 地址: | 621900 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种低振动低温测试装置,包括:真空腔体,其设有开口;光学隔振平台,用于固定真空腔体,隔离外界对真空腔体的振动;G‑M制冷机,由管道连接的制冷机主机和冷头组件组成,所述冷头组件由冷头和冷头基座组成;波纹管,其端部分别密封连接所述真空腔体的开口、所述冷头基座,该波纹管、所述真空腔体和所述冷头组件共同围成密封的真空区间,所述冷头位于该真空区间内;被冷却样品,位于所述真空区间内,通过样品架安装于真空腔体内;以及柔性导冷带,位于所述真空区间内,其端部分别与所述被冷却样品和所述冷头热连接。该装置避免了制冷机冷头与被冷却样品直接接触,有效减小了振动对样品的影响。 | ||
| 搜索关键词: | 冷头 真空腔体 真空区间 冷却样品 低温测试装置 波纹管 低振动 制冷机 开口 光学隔振平台 柔性导冷带 制冷机主机 隔离外界 固定真空 管道连接 基座组成 密封连接 热连接 样品架 真空腔 减小 腔体 密封 体内 | ||
【主权项】:
1.一种低振动低温测试装置,其特征在于,包括:真空腔体,其设有开口;光学隔振平台,用于固定真空腔体,隔离外界对真空腔体的振动;G‑M制冷机,由管道连接的制冷机主机和冷头组件组成,所述冷头组件由冷头和冷头基座组成;波纹管,其端部分别密封连接所述真空腔体的开口、所述冷头基座,该波纹管、所述真空腔体和所述冷头组件共同围成密封的真空区间,所述冷头位于该真空区间内;被冷却样品,位于所述真空区间内,通过样品架安装于真空腔体内;以及柔性导冷带,位于所述真空区间内,其端部分别与所述被冷却样品和所述冷头热连接。
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