[发明专利]一种用于提取氧化物电荷和界面态的栅控纵向双极器件结构单元及其制备方法在审
| 申请号： | 201810136618.9 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108346693A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 李兴冀;唐昭焕;王敬贤;杨剑群;刘文宝;吴雪;刘超铭;芮二明;易晓东 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学;中国电子科技集团公司第二十四研究所;中国航天标准化研究所 |
| 主分类号： | H01L29/739 | 分类号： | H01L29/739;H01L21/331 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于提取氧化物电荷和界面态的栅控纵向双极器件结构单元及其制备方法，属于核科学与技术领域，为了解决纵向双极晶体管无法定量分离氧化物俘获正电荷和界面态。本发明通过增加栅极单元，以便定量表征以及分离氧化物电荷和界面态；栅极单元设置在发射区接触孔和基区接触孔之间的氧化物上方；栅极单元的外边缘距发射区接触孔的距离大于或等于0.2μm；栅极单元距基区发射孔的距离大于或等于0.2μm；并且栅极单元的面积小于或等于整个基区面积的1/4。有益效果为准确定量表征辐射诱导氧化物和界面态缺陷的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 栅极单元 界面态 氧化物 基区 发射区接触孔 氧化物电荷 双极器件 制备 纵向双极晶体管 分离氧化物 界面态缺陷 定量表征 定量分离 辐射诱导 准确定量 电荷 发射孔 接触孔 外边缘 正电荷 俘获 | ||
【主权项】：
1.一种用于提取氧化物电荷和界面态的栅控纵向双极器件结构单元，其特征在于，该结构单元通过增加栅极单元，以便定量表征以及分离氧化物电荷和界面态；所述栅极单元设置在发射区接触孔和基区接触孔之间的氧化物上方；所述栅极单元的外边缘距发射区接触孔的距离大于或等于0.2μm；栅极单元距基区发射孔的距离大于或等于0.2μm；并且栅极单元的面积小于或等于整个基区面积的1/4。
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