[发明专利]偏振测量装置、偏振测量方法及光配向方法有效
| 申请号： | 201810135372.3 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN110132420B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张一志;王帆;李玉龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种偏振测量装置、测量方法及光配向方法，测量装置包括光源、起偏偏振器、检偏偏振器、旋转模块、图像传感器及分析模块，光源发出的光经过起偏偏振器起偏，经过检偏偏振器检偏后入射图像传感器，旋转模块驱动检偏偏振器旋转，图像传感器实时获取检偏后光的成像信息，分析模块根据成像信息计算起偏偏振器在不同入射角对下的偏振特性。本发明以图像传感器代替能量探测器进行偏振测量，利用图像传感器中像素阵列的不同像素点对不同入射角度的光进行偏振测量，只需要对起偏偏振器在一定入射角度范围内的偏振进行一个周期的采集测量，就可以计算得出起偏偏振器在不同入射角度下的消光比与偏光角度，精简了偏振测试过程，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 测量 装置 测量方法 方法 | ||
【主权项】：
1.一种偏振测量装置，其特征在于，包括光源、起偏偏振器、检偏偏振器、旋转模块、图像传感器及分析模块，所述光源发出具有一定入射角度范围的光经过所述起偏偏振器起偏，经过所述检偏偏振器检偏后被所述图像传感器探测，所述旋转模块驱动所述检偏偏振器以所述检偏偏振器的法线方向为转动轴按照一定的步距进行旋转，所述图像传感器实时获取所述检偏偏振器每旋转一个角度后经过检偏的偏振光的成像信息，所述分析模块根据所述成像信息计算所述起偏偏振器在不同入射角度下的偏振特性。
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