[发明专利]化学增幅型正型光阻组合物有效
| 申请号： | 201810133466.7 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN110133965B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李兴杰;林钰婷;黄新义 | 申请（专利权）人： | 台湾永光化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 崔亚松 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种化学增幅型正型光阻组合物，包括：(A)15至30重量份的一丙烯酸树脂，包括如下式(1)至式(3)所示的单体；以及(B)0.05至1重量份的一光酸产生剂。 |
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| 搜索关键词： | 化学 增幅 型正型光阻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学增幅型正型光阻组合物，包括：(A)15至30重量份的一丙烯酸树脂，包括如下式(1)至式(3)所示的单体；![]()
其中，G为‑C(＝O)‑O‑、‑O‑、‑O‑C(＝O)‑或一键；L为C1‑6亚烷基或一键；R1、R2及R4各自独立为H或甲基；R3为H或C1‑6烷基；R5及R6各自独立为H或C1‑6烷基，或R5及R6与其连接的N一同形成一经取代或未经取代的五至七元杂环烷基；以及(B)0.05至1重量份的一光酸产生剂。
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