[发明专利]硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜的制备方法

摘要

本发明公开一种硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜的制备方法，主要包括：配制旋涂溶液，旋涂基片，样品真空退火处理，配制二次旋涂溶液，二次旋涂，样品二次处理，HF酸刻蚀处理得到。本发明用旋涂法和模板法调控了膜层的孔隙率，实现了对膜层折射率的有效控制，构建了双面底层高折射率与顶层低折射率的双层渐变折射率减反射膜，膜层的透过率最高可达91.5％，且与单一折射率减反射膜相比，透过波段更宽。

主权项

1.硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)配制旋涂溶液：用热注入法合成的ZnSe纳米空心球作为底层膜层材料，旋涂溶剂使用环己烷和正己醇混合液，将ZnSe纳米空心球配成浓度为30g/L的旋涂溶液；2)旋涂基片：将步骤1)中旋涂溶液，滴加到ZnSe基片中央，在2000rpm的转速下旋涂基片55‑60s，将旋涂基片得到的单面膜层放入50‑60℃烘箱中烘干15‑20min，之后再在基片的另一面上进行旋涂，得到样品；其中，两面的旋涂参数保持一致；3)样品处理：将步骤2)得到的样品放入真空管式炉中，将管式炉抽真空至0.1‑0.5Torr，然后在N₂的气氛下，进行高温退火处理，然后随炉冷却至室温，再取出样品；4)配制二次旋涂溶液：用溶胶凝胶法合成的SiO₂纳米颗粒为模板，以SiO₂的颗粒数量与ZnSe的颗粒数量保持为1：1的比例将SiO₂加入到ZnSe纳米空心球中，使用与步骤1)中旋涂溶剂相同，制成ZnSe纳米空心球浓度为30g/L的二次旋涂溶液；5)用步骤3)得到的样品为基底，采用步骤4)中二次旋涂溶液进行旋涂；6)在1500rpm的转速下旋涂基片55‑60s，将旋涂基片得到的单面膜层放入50‑60℃烘箱中烘干15‑20min，之后再在另一面上进行旋涂，得到二次旋涂后的最终样品；其中，两面的旋涂参数保持一致；7)将步骤6)中二次旋涂后的最终样品进行真空退火处理，退火工艺同步骤3)相同，得到退火后的最终样品；8)将步骤7)中得到退火后的最终样品放入浓度为18‑22％的HF酸中进行15‑20min的刻蚀处理，然后用去离子水反复冲洗，晾干。