[发明专利]一种用于太赫兹微测辐射热计的天线结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201810118424.6 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN108365345B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 苟君;牛青辰;王军;黎威志;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01Q17/00 | 分类号： | H01Q17/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于太赫兹微测辐射热计的天线结构及其制备方法，及太赫兹探测与成像技术领域，本发明的天线结构在太赫兹微测辐射热计微桥结构桥面多层薄膜中集成一层平面天线，同时用作金属薄膜吸收层，利用金属薄膜的宽频吸收与天线对特定频率的耦合增强吸收，实现对太赫兹波的宽频高吸收。本发明采用RIE工艺修饰处理天线下的介质衬底层或天线层，形成表面微结构，增大天线与金属薄膜吸收层的有效吸收面积，提高吸收效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 赫兹 辐射热 天线 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于太赫兹微测辐射热计的天线结构，其特征在于，所述天线结构为位于太赫兹微测辐射热计微桥结构桥面多层薄膜中的平面天线结构，天线结构为厚度为5‑40nm的金属薄膜。
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